⫺電子情報・生体医工学系ホーム
Scroll
薄膜・表面工学研究室
Surface Coating Engineering Laboratory
人にやさしい薄膜形成と表面処理
  • 薄膜物性
  • 表面改質
  • 生体適合性材料

Topics　－トピックス―

2023年9月19～23日
第84回応用物理学会秋季学術講演会にて、DLC成膜中のプラズマ発光状態と細胞増殖性との関係、低周波プラズマを用いたDLC成膜におけるプラズマの発光色と細胞接着性の関連性、連続的な圧力負荷がおよぼす非晶質炭素薄膜の物性変化、水素化アモルファス炭素薄膜の細胞接着性評価、低周波成膜DLCの酸素還元反応について発表しました。＜ハイブリッド開催＞
2023年8月26～27日
第41回日本ヒト細胞学会学術集会にて、非晶質炭素薄膜の細胞接着性評価について発表しました。
2023年8月25日
電気学会東京支部第13回学生研究発表会にて、バイオインターフェース機能向上のためのプラズマ発光観察による薄膜機能予測、⽔素化アモルファス炭素薄膜の細胞接着性制御について発表しました。
2023年3月15～18日
第70回応用物理学会春季学術講演会にて、窒素含有によるDLCの酸素還元反応の向上、圧力負荷における非晶質炭素薄膜の基板依存性評価、水熱合成ZnGa2O4ナノ粒子を用いた薄膜の作製と評価、ゾル－ゲル合成ZnGa2O4膜の発光特性に前駆体のpHが及ぼす影響について発表しました。＜ハイブリッド開催＞
2022年11月16～18日
第36回ダイヤモンドシンポジウムにて、圧力負荷による非晶質炭素薄膜への導電性付与における高分子基板依存性評価、RFプラズマCVD法により成膜した窒素含有DLCの水素発生反応の抑制効果、光学定数に基づいて分類したDLC膜の抗菌性、ダイヤモンド状炭素薄膜による細胞パターニングデバイスの開発、光学的分類法によって分類したDLC膜の膜厚に対する細胞増殖性、低周波プラズマCVD法により成膜した窒素含有 DLC電極の酸素還元活性について発表しました。＜ハイブリッド開催＞
2022年9月20～23日
第83回応用物理学会秋季学術講演会にて、窒素混合によるDLCの水素発生反応抑制、多結晶ZnGa2O4膜のゾル－ゲル法による作製と評価などについて、発表しました。＜ハイブリッド開催＞
2022年8月26日
電気学会東京支部第12回学生研究発表会にてDLCを用いた細胞機能評価デバイスの開発について発表しました。＜オンライン開催＞
2022年8月19～21日
第37回ライフサポート学会大会（LIFE2022）にて、複数の非晶質炭素膜を保持したデバイスの開発と細胞機能の評価について発表しました。＜オンライン開催＞
2022年6月6～9日
NDNC 2022にて、窒素含有DLCの成膜における機械学習を用いたプラズマ発光状態の観察について発表しました。＜ハイブリッド開催＞
2022年3月22～26日
第69回応用物理学会春季学術講演会にて、圧力負荷に対するアモルファスカーボン膜の電気抵抗変化、低周波プラズマ CVD法で作製した DLCの電気化学活性評価、窒素含有による DLCの酸素還元反応活性の向上について発表しました。＜ハイブリッド開催＞
2022年3月7～8日
第31回ライフサポート学会フロンティア講演会にて、ダイヤモンド状炭素薄膜による細胞パターニング評価”について発表しました。＜オンライン開催＞
2021年11月17～19日
第35回ダイヤモンドシンポジウムにて、低周波および高周波プラズマCVD法により成膜した窒素含有DLCの電気化学特性評価、生体適合性N-DLC成膜のための機械学習を用いたプラズマ発光観察、窒素含有DLC薄膜の細胞接着性評価、圧力負荷における中性子反射率法を用いたダイヤモンド状炭素薄膜の構造評価、圧縮下における非晶質炭素膜の基板依存性評価について発表しました。＜オンライン開催＞
2021年9月10～13日
第82回応用物理学会秋季学術講演会にて、アニール処理によるDLCの電気化学特性変化について発表しました。＜オンライン開催＞
2021年6月7～9日
NDNC 2020/2021にて、各種DLCの基本構造と細胞接着性評価、中性子反射率測定を用いた窒素含有DLCの細胞親和性評価について発表しました。＜オンライン開催＞
2021年3月17日
本研究室学部4年生のヌルル シャキラ ビンテイ ジャメルさんが、電気学術女性活動奨励賞を受賞しました。
本研究室学部4年生のムハマド アズミ アリフさんが、電気学術奨励賞を受賞しました。
2021年3月8日
IEEE ENGINEER SPOTLIGHT - JAPAN（第12回 Happy Days in the World）にて、2019年度東京電機大学海外研修員として、タイ王立シンクロトロン光研究（Synchrodlon Light Research Institute (Public Organization)）で在外研究を行った体験について講演しました。＜オンライン開催＞
2021年1月12～14日
第34回ダイヤモンドシンポジウムにて、中性子反射率測定による細胞親和性窒素含有DLCの構造評価について発表しました。＜オンライン開催＞
2020年10月16
DLC工業会　令和2年度講演会にて、光学特性と生物学的特性からのDLC膜の分類について講演しました。＜オンライン開催＞
2020年9月8日～11日
第81回応用物理学会秋季学術講演会にて発表しました
2020年3月12日～15日
第67回応用物理学会春季学術講演会の講演予稿集にて発表しました
2019年11月13日～15日
第33回ダイヤモンドシンポジウムにて発表しました

About us　ー研究内容ー

産業用デバイスの性能は、素材特性によって決まります。特に、人間が対象となるデバイス では、生体と触れる表面の高機能化や適合化が求められ、今日の材料表面の高機能化技術は 急速に発展しています。本研究室では、「人にやさしい薄膜形成と表面処理」をモットーとし、 プラズマプロセスを中心に、高機能性や環境調和に優れた薄膜形成や表面処理技術の開発に 取り組み、生体適合性材料やセンシングデバイスの研究を行っています。

Research theme　―研究テーマ―

  • ダイヤモンド状炭素（DLC: Diamond-like Carbon）のデバイス応用（生体親和性デバイス，バイオセンサ，圧力センサ，ガスセンサ）
  • 不純物ドープによるDLCの高機能化（電気特性，光学特性，生体親和性）
  • プラズマ観察による物性評価システムの開発（プラズマCVD，大気圧プラズマ，機械学習）
  • プラズマ処理による表面改質（シリコンゴム表面と接着剤との親和性）
  • 生体適合性DLCの開発（放射光および中性子散乱を用いた構造解析）
  • 生体適合性アルミナ薄膜の開発（タンパク質吸着性評価）他
研究紹介へ