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人にやさしい薄膜形成と表面処理
Surface Coating Engineering Laboratory
薄膜・表面工学研究室
- 薄膜物性
- 表面改質
- 生体適合性材料
Topics －トピックス―
| 2022年9月20～23日 | 第83回応用物理学会秋季学術講演会にて、窒素混合によるDLCの水素発生反応抑制、多結晶ZnGa2O4膜のゾル－ゲル法による作製と評価などについて、発表しました。＜ハイブリッド開催＞ |
| 2022年8月26日 | 電気学会東京支部第12回学生研究発表会にてDLCを用いた細胞機能評価デバイスの開発について発表しました。＜オンライン開催＞ |
| 2022年8月19～21日 | 第37回ライフサポート学会大会（LIFE2022）にて、複数の非晶質炭素膜を保持したデバイスの開発と細胞機能の評価について発表しました。＜オンライン開催＞ |
| 2022年6月6～9日 | NDNC 2022にて、窒素含有DLCの成膜における機械学習を用いたプラズマ発光状態の観察について発表しました。＜ハイブリッド開催＞ |
| 2022年3月22～26日 | 第69回応用物理学会春季学術講演会にて、圧力負荷に対するアモルファスカーボン膜の電気抵抗変化、低周波プラズマ CVD法で作製した DLCの電気化学活性評価、窒素含有による DLCの酸素還元反応活性の向上について発表しました。＜ハイブリッド開催＞ |
| 2022年3月7～8日 | 第31回ライフサポート学会フロンティア講演会にて、ダイヤモンド状炭素薄膜による細胞パターニング評価”について発表しました。＜オンライン開催＞ |
| 2021年11月17～19日 | 第35回ダイヤモンドシンポジウムにて、低周波および高周波プラズマCVD法により成膜した窒素含有DLCの電気化学特性評価、生体適合性N-DLC成膜のための機械学習を用いたプラズマ発光観察、窒素含有DLC薄膜の細胞接着性評価、圧力負荷における中性子反射率法を用いたダイヤモンド状炭素薄膜の構造評価、圧縮下における非晶質炭素膜の基板依存性評価について発表しました。＜オンライン開催＞ |
| 2021年9月10～13日 | 第82回応用物理学会秋季学術講演会にて、アニール処理によるDLCの電気化学特性変化について発表しました。＜オンライン開催＞ |
| 2021年6月7～9日 | NDNC 2020/2021にて、各種DLCの基本構造と細胞接着性評価、中性子反射率測定を用いた窒素含有DLCの細胞親和性評価について発表しました。＜オンライン開催＞ |
| 2021年3月17日 | 本研究室学部4年生のヌルル シャキラ ビンテイ ジャメルさんが、電気学術女性活動奨励賞を受賞しました。 本研究室学部4年生のムハマド アズミ アリフさんが、電気学術奨励賞を受賞しました。 |
| 2021年3月8日 | IEEE ENGINEER SPOTLIGHT - JAPAN（第12回 Happy Days in the World）にて、2019年度東京電機大学海外研修員として、タイ王立シンクロトロン光研究（Synchrotron Light Research Institute (Public Organization)）で在外研究を行った体験について講演しました。＜オンライン開催＞ |
| 2021年1月12～14日 | 第34回ダイヤモンドシンポジウムにて、中性子反射率測定による細胞親和性窒素含有DLCの構造評価について発表しました。＜オンライン開催＞ |
| 2020年10月16 | DLC工業会 令和2年度講演会にて、光学特性と生物学的特性からのDLC膜の分類について講演しました。＜オンライン開催＞ |
| 2020年9月8日～11日 | 第81回応用物理学会秋季学術講演会にて発表しました |
| 2020年3月12日～15日 | 第67回応用物理学会春季学術講演会の講演予稿集にて発表しました |
| 2019年11月13日～15日 | 第33回ダイヤモンドシンポジウムにて発表しました |
About us ー研究内容ー
産業用デバイスの性能は、素材特性によって決まります。特に、人間が対象となるデバイス では、生体と触れる表面の高機能化や適合化が求められ、今日の材料表面の高機能化技術は 急速に発展しています。本研究室では、「人にやさしい薄膜形成と表面処理」をモットーとし、 プラズマプロセスを中心に、高機能性や環境調和に優れた薄膜形成や表面処理技術の開発に 取り組み、生体適合性材料やセンシングデバイスの研究を行っています。
Research theme ―研究テーマ―
ダイヤモンド状炭素（DLC: Diamond-like Carbon）のデバイス応用（生体親和性デバイス，バイオセンサ，圧力センサ，ガスセンサ）
不純物ドープによるDLCの高機能化（電気特性，光学特性，生体親和性）
プラズマ観察による物性評価システムの開発（プラズマCVD，大気圧プラズマ，機械学習）
プラズマ処理による表面改質（シリコンゴム表面と接着剤との親和性）
生体適合性DLCの開発（放射光および中性子散乱を用いた構造解析）
生体適合性アルミナ薄膜の開発（タンパク質吸着性評価）他
不純物ドープによるDLCの高機能化（電気特性，光学特性，生体親和性）
プラズマ観察による物性評価システムの開発（プラズマCVD，大気圧プラズマ，機械学習）
プラズマ処理による表面改質（シリコンゴム表面と接着剤との親和性）
生体適合性DLCの開発（放射光および中性子散乱を用いた構造解析）
生体適合性アルミナ薄膜の開発（タンパク質吸着性評価）他