薄膜・表面工学研究室

酸素プラズマ処理はプラズマ化した酸素を照射して表面改質を行う処理です。表面の汚れを分解することで洗浄を行うことができます。また、親水性官能基が表面に付与されるため、親水性処理に有効です。

DLCはダイヤモンドとグラファイトの中間的な構造を持つ非晶質炭素です。高硬度、低摩擦性、低摩耗性、耐腐食性などの優れた特性を有しているため、切削ドリルや摺動摩耗機械などの分野で実用化されています。その他、生体適合性にも優れ、医療デバイスの表面処理技術として活用が期待されています。