薄膜・表面工学研究室

本研究室では、電気電子工学、電子物性、応用物理、応用化学を基盤として、ナノスケールでの材料設計と機能創出に取り組んでいます。ものづくりに取り組んでいます。

DLC（Diamond-like Carbon）は、ダイヤモンド構造（sp³）とグラファイト構造（sp²）が混在したアモルファス炭素膜で、一部の炭素原子が水素終端され、これらの比率によって多様な性質を示します。

DLCのの成膜パターンや表面状態を制御することで、細胞接着の挙動が大きく変化します。本研究では、成膜領域の幅に着目し、細胞凝集機能を発現するバイオインターフェース技術に取り組んでいます。
関連特許：特願2024- 36074, 特願2022- 22263, 特願2020-188369

DLC電極を用いて日本酒の発酵状態を電気化学的に数値化する技術です。従来困難であった発酵過程の定量評価を可能とし、品質管理の効率化や伝統産業のDX推進に取り組みます。酒造現場でのDX推進に加え、他の発酵食品やバイオ産業への展開も期待できます。
関連特許：特願2025-137386

DLCは、一般的にプラズマプロセスを用いて成膜をしますが、プラズマ状態によって成膜された特性が大きく変化するため、機械学習を活用したプラズマ観察による成膜プロセスの解析に取り組んでいます。

スパッタリング法で成膜したDLCを用いて、圧力センサとしてのデバイス開発に取り組んでいます。各種高分子基板（PET: PolyethyleneterephthalateやPC: Polycarbonateなど）へ成膜し、圧力負荷による抵抗変化の基板依存性とDLCの膜構造評価に取り組んでいます。